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三坐標檢測儀是在三個彼此垂直的方向上有導向機構、測長元件、數顯設備，有一個能夠放置工件的工作臺（大型和巨型紛歧定有），測頭能夠以手動或機動方式輕快地移動到被測點上，由讀數設備和數顯設備把被測點的坐標值顯示出來的一種丈量設備。

明顯這是簡單、原始的測量機，有了這種測量機后，在測量容積里任意一點的坐標值都可經過讀數設備和數顯設備顯示出來。測量機的采點發訊設備是測頭，在沿X、Y、Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數頭。

其三坐標測量進程就是當測頭接觸工件并宣布采點信號時，由控制體系去收集當前機床三軸坐標相對于機床原點的坐標值，再由計算機體系對數據進行處理和輸出。因此三次元測量機能夠用來直接檢測尺寸。也能夠獲得間接尺寸和形位公役及各種相關關系，也能夠完成全面掃描和一定的數據處理功能，為加工供給數據和丈量結果。主動型還能夠進行主動測量，完成批量零件的主動檢測。

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